Kosketusreikä on eristeen aukko metallikerroksen ja aktiivisen alueen tai polypiin välillä. Se on mikroelektroniikan avainrakenne, yleensä syövytetty pystysuoraan piikiekkoon, jota käytetään yhdistämään ensimmäinen metalliliitäntä ja alustalaite, ja se on täytetty metalleilla, kuten volframilla. Sitä käytetään usein integroitujen piirien valmistuksessa sähköisten kytkentöjen toteuttamiseen piirin eri kerrosten välillä.

Koska kosketinreiän laatu vaikuttaa suoraan koko piirin suorituskykyyn ja luotettavuuteen, kosketinreiän suunnittelussa ja valmistuksessa on otettava huomioon monet tekijät, kuten sähköinen suorituskyky, lämpöstabiilisuus, mekaaninen lujuus ja tuottavuus. Hyvien sähköliitäntöjen ja pienemmän vastuksen varmistamiseksi kontaktireiät täytetään yleensä metallilla tai muilla johtavilla materiaaleilla. Samanaikaisesti mekaanisten vaurioiden ja kemiallisen korroosion estämiseksi kosketusreiän kehä peitetään yleensä suojakerroksella.





